半导体设备零部件是半导体行业的基石，行业空间大、赛道多。海外对华半导体限制之下，国产半导体设备零部件厂商承担替代重任，同时这也为相关公司提供了历史性的增长机遇。

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支撑评级的要点

设备零部件是半导体行业的基础。精密零部件技术的突破推动设备的迭代升级。而设备的性能又决定了芯片的制程、功耗等关键参数。

中国大陆晶圆制造产能逆势扩张为设备和零部件行业发展提供信心支撑。JWInsight预计到2026年，中国大陆12英寸晶圆总产能将达到300万片/月以上，是2022年的两倍更多。

设备零部件空间大，赛道多。我们预计2022年，全球半导体设备零部件市场规模约484亿美元，中国大陆半导体设备零部件市场规模约250亿美元。半导体设备零部件分为机械、电气、机电一体、气/液/真空系统、光学等子赛道。各细分子赛道均具有其独特的技术门槛。

半导体设备零部件亟待国产化。根据芯谋研究数据，静电卡盘、O形密封圈、阀门、测量仪国产化率不足1%；射频电源、机械臂、EFEM、气体流量计国产化率1~5%；陶瓷件、真空泵国产化率5~10%；边缘环、石英件、喷淋头国产化率超过10%。随着美、荷、日等国的半导体限制政策落地，半导体设备和零部件的国产化有望加速。

投资建议

富创精密。富创精密是国内领先的平台型半导体设备零部件厂商，在半导体设备零部件国产替代浪潮中居于领先的位置。

中瓷电子。中瓷电子是国内领先的陶瓷材料供应商，其静电卡盘产品有望打破海外垄断，实现国产“从0到1”的突破。

英杰电气。英杰电气是国内领先的射频电源供应商，其相关射频电源产品正在从工业级向半导体级升级和验证的过程中。

机器人。新松机器人已经成功实现半导体设备EFEM和真空机械手的量产，并开始对国内设备厂出货。

新莱应材。新莱应材的高纯、超高纯管、阀类产品正在国内头部设备厂、晶圆厂的认证过程中，其有望在国产替代浪潮中深度受益。

富乐德。富乐德是国内领先的半导体设备清洗服务商，有望受益于国内晶圆厂的扩产。同时半导体设备零部件翻新业务或贡献新增长点。

评级面临的主要风险

半导体复苏进度低于预期。

中美科技竞争紧张态势缓和，美国放松制裁，美系设备卷土重来。

半导体设备和零部件研发、验证进度不及预期。

市场竞争格局恶化，价格战打压相关公司盈利能力。